想请问马工, 你们的瓦里安机器是1800 or 2100。 你们通过测量Chamber signals 的电阻发现问题很是了不起. 我只是好奇。你提到EXQ1 interlock, 所以应当Radial plane, 相关的A+B or A-B 应当是B15 not B16. 如果是A+B 有问题的话, 你同时应当看到UDRS OR XDRS INTERLOCK. A-B是beam angle, 假如是我的话,我会用示波器检测A signal and B signal 在B15 线路板当然需要open Angle loop switch. 应当比较容易发现那一个信号出了问题。有的时候,PWM 有问题的话也会导致EXQ1 or EXQ2 interlock. 我挺有兴趣能跟你交流交流!william_cmchen@hotmail.com